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Veröffentlicht im April 2017 | Version v1
Masterarbeit Offen

Plasma-enhanced atomic layer deposition of zinc oxide thin films

ErstellerInnen

  • Pilz, Julian (aut)

700802_pilz_julian_2017.pdf
Dateien (20.9 MB)
Name Größe
700802_pilz_julian_2017.pdf
md5:63628fc68f38ffb7ab4506d27bfdfd76
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Erstellt: 12. August 2022 | Bearbeitet: 27. Mai 2025
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10.3217/14dht-rnh97
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https://doi.org/10.3217/14dht-rnh97
Name: Pilz, Julian
Titel: Plasma-enhanced atomic layer deposition of zinc oxide thin films
Ressource-Typ: Masterarbeit
Veröffentlicht: April 2017
Sprache: eng

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